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从事MEMS技术研发的美国风险企业，在与SEMICON Japan2005展会同期举行的“第9届SEMI微系统／MEMS专题研讨会”上，宣布正在开发硅振荡器。
美风险企业正在开发取代石英的硅振荡器
【摘 要】
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从事MEMS技术研发的美国风险企业，在与SEMICON Japan2005展会同期举行的“第9届SEMI微系统／MEMS专题研讨会”上，宣布正在开发硅振荡器。
【出 处】
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新材料产业
【发表日期】
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2006年2期
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