激光掺杂制作选择性发射极电池扩散工艺的研究

来源 :光电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wangxinyi808

【摘要】

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【作者】

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马红娜赵学玲张红妹

【出处】

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光电子技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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激光掺杂选择性发射极电池三氯氧磷扩散方块电阻

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