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利用CVD法在玻璃基板上沉积了大面积SnO_2薄膜。薄膜呈粒状结构。测量了掺氟SnO_2的透射率和方块电阻。在300mm×915mm的面积内,方块电阻是均匀的。利用该薄膜作透明电极,制造了大面积非晶硅太阳电池。太阳电池的转换效率、填充因子和开路电压与SnO_2的电阻率有关。
CVD法大面积SnO2薄膜的沉积
【摘 要】
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利用CVD法在玻璃基板上沉积了大面积SnO_2薄膜。薄膜呈粒状结构。测量了掺氟SnO_2的透射率和方块电阻。在300mm×915mm的面积内,方块电阻是均匀的。利用该薄膜作透明电极
【机 构】
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哈尔滨-克罗拉太阳能电力公司,哈尔滨-克罗拉太阳能电力公司
【出 处】
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太阳能学报
【发表日期】
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1990年2期
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