集成三漏CMOS磁敏传感器

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangxinjia
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本文介绍了一种新颖的集成三漏CMOS磁敏传感器。报道了该传感器的电路原理、版图设计及其研制结果。它具有结构简单、磁灵敏度高和使用方便等特点,且制造工艺与标准铝栅CMOS工艺完全兼容,成本低、易于批量生产,具有高的性能/价格比。
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