论文部分内容阅读
微机械加速度计是近年来才发展起来的一类微机电系统（ＭＥＭＳ）。文中介绍了扭摆式硅微型加速度计的机械结构，工作原理。根据其信号特点，对其测试的关键部分进行了搪塞，并给出了测试结果。在此基础上，对整个加速度计系统的误差来源进行了研讨。
微机械加速度计系统分析与测试
【摘 要】
：
微机械加速度计是近年来才发展起来的一类微机电系统（ＭＥＭＳ）。文中介绍了扭摆式硅微型加速度计的机械结构，工作原理。根据其信号特点，对其测试的关键部分进行了搪塞，并给出了测试结果。
【机 构】
：
东南大学仪器科学与工程系
【出 处】
：
仪表技术与传感器
【发表日期】
：
1999年12期
【基金项目】
：
国防科技预研项目
其他文献
水稻毯式育秧机械插秧高产栽培技术,突出农机与农艺的结合,技术核心是毯式育秧和机械插秧.此项技术有针对性地解决了以下五个问题:一是大田粗放育秧不科学,不能形成壮苗.二是
目的检测冠心病（CHD）合并糖尿病患者血浆6-酮前列腺素F1α（6-K-PGF_（1α））水平,随访其主要不良心血管事件（MACE）和再住院发生情况。方法选取2013年7月—2014年6月在华北理工大学附属
从数显式小转矩测量仪的结构原理和仪器本身所产生的随机误差出发，分析并计算了仪器各环节产生的误差。提出了满足使用要求，提高测量精度的方法和途径。
本自控系统是针对焦炉煤气脱有机硫工艺设计开发的，其工艺控制要求及各参数的控制质量要求根据工艺人员的要求完成。为达到工艺要求保证控制的高精度、高可靠性，采取了相应措施
菏泽市地处山东西南部，地势平坦,是黄河冲积平原，土层深厚，土壤类型为沙土和粘土；主要粮食作物为小麦和玉米，属一年两熟轮茬倒作种植模式．小麦种植面积60多万hm^2，玉米种植面积在27
借鉴螺旋桨复杂曲面多轴联动精加工系统的设计方案,结合双螺杆转子精加工的实际情况,采用五轴联动龙门式整体结构对双螺杆转子磨料水射流多轴联动精加工系统进行设计。应用模
目的探讨膝骨关节炎（KOA）不同中医辨证分型患者红细胞免疫功能差异,并观察痹祺胶囊对不同证型KOA患者红细胞免疫功能的影响。方法选取2013年3—6月于河北省人民医院风湿免疫科
日前，哈尔滨工业大学国家自然科学基金委创新研究群体负责人、“长江学者”特聘教授、“千人计划”专家刘宏牵头申报的“空间机器人国家国际科技合作基地”（以下简称基地）经过两
利用三维建模软件Pro/Engineer建立滚刀模型,以有限元分析法为基础,借助Deform-3D软件对齿轮滚削过程进行了动态模拟仿真,获得了切削力变化规律、切削温度和应力应变的分布情