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采用反应磁控溅射方法，用Ag作为溅射靶，用乙二醇二甲基醚挥发性单体通过等离子体化学气相聚合制备含Ag的PEO杀菌薄膜；通过FTIR光谱、XPS能谱、UV可见光谱等确定薄膜中的各种成分以及含量，并研究工艺条件对薄膜结构成分的影响；XRD衍射分析薄膜中所掺杂银的晶面结构和Ag的颗粒度大小；AFM分析了表面的形貌和结构。实验发现等离子体的宏观参量如源气体流量比、工作气压、溅射功率等对所聚合的薄膜结构成分影响较大；Ag在薄膜中以原子形态存在而且以（111）晶面为主；Ag（111）对杀菌应用起主要的作用。