【摘 要】
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TN252 2004053612 SIMOX大截面单模脊型光波导的研制=Fabrication of SIMOX single-mode rib waveguides with large cross-section[刊,中]/林志浪(中科院上海微系统信息技术
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TN252 2004053612 SIMOX大截面单模脊型光波导的研制=Fabrication of SIMOX single-mode rib waveguides with large cross-section[刊,中]/林志浪(中科院上海微系统信息技术研究所离子束实验室,上海(200050)),程新利…∥光电子·激
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