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晶体硅生长设备外围设施的研究
晶体硅生长设备外围设施的研究
来源 :河南科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jinkejinlv
【摘 要】
:
针对国内晶体硅生长设备现状,简要认识了多晶硅铸锭炉的技术发展瓶颈,从外围电力系统、氩气供应做了简单介绍,重点介绍了冷却水路系统的计算、研究。
【作 者】
:
武建刚
【机 构】
:
河北晶龙阳光设备有限公司
【出 处】
:
河南科技
【发表日期】
:
2013年9X期
【关键词】
:
多晶硅铸锭炉
氩气
冷却系统
自然对流
强制对流
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针对国内晶体硅生长设备现状,简要认识了多晶硅铸锭炉的技术发展瓶颈,从外围电力系统、氩气供应做了简单介绍,重点介绍了冷却水路系统的计算、研究。
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