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介绍了一个输出电压为１０４Ｖ，开关时间为３４ｎｓ的电子束曝光机束闸电路。
电子束曝光机束闸电路
【摘 要】
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介绍了一个输出电压为１０４Ｖ，开关时间为３４ｎｓ的电子束曝光机束闸电路。
【机 构】
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山东工业大学自动化系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2000年4期
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