【摘 要】
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ISO 1级超净环境是什么?rn1963年美国制定出国际上第一套洁净室标准,此后不断修改标准,同时世界上几个主要的国家根据自己的需要,分别制定了自己的洁净标准.1999年ISO统一了
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ISO 1级超净环境是什么?rn1963年美国制定出国际上第一套洁净室标准,此后不断修改标准,同时世界上几个主要的国家根据自己的需要,分别制定了自己的洁净标准.1999年ISO统一了各国的洁净度标准,并颁发ISO 14644-1标准,是当今国际通用的空气洁净度标准.ISO 1级是该标准的最高要求,为0.1μm≤10颗/m3,0.2μm≤2颗/m3,实现难度非常大.
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