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六氟化钨是用钨金属与不断循环的含少量氟的ＷＦ气体反应制得，整个反应在中热反应器中进行。高纯度ＷＦ６在生产超大规模集成电路中对钨金属的沉积很有帮助。
半导体六氟化钨的合成方法
【摘 要】
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六氟化钨是用钨金属与不断循环的含少量氟的ＷＦ气体反应制得，整个反应在中热反应器中进行。高纯度ＷＦ６在生产超大规模集成电路中对钨金属的沉积很有帮助。
【出 处】
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钨钼材料
【发表日期】
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1997年2期
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