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半导体六氟化钨的合成方法
半导体六氟化钨的合成方法
来源 :钨钼材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rette
【摘 要】
:
六氟化钨是用钨金属与不断循环的含少量氟的WF气体反应制得,整个反应在中热反应器中进行。高纯度WF6在生产超大规模集成电路中对钨金属的沉积很有帮助。
【作 者】
:
蒋旭
【出 处】
:
钨钼材料
【发表日期】
:
1997年2期
【关键词】
:
六氟化钨
合成方法
半导体级
超大规模
集成电路
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六氟化钨是用钨金属与不断循环的含少量氟的WF气体反应制得,整个反应在中热反应器中进行。高纯度WF6在生产超大规模集成电路中对钨金属的沉积很有帮助。
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