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利用高精度膜厚控制仪,实现有机薄膜功能材料真空热蒸镀,制备了一种多层结构ITO/CuPc(20nm)/α—NPD(60nm)/Alq3(40nm):C545T(2%)/Alq3(20nm/LiF(1nm)/Al(100nm),获得了发射峰位于525nm稳定的绿色有机电致发光二极管(OLED),其起亮电压为2.5V,驱动电压在20V时亮度为10,500cd·m^-2,色坐标(CIE)x=0.331、y=0.625,最大流明效率为3.921m·W^-1。