高灵敏度开尔文探针力显微镜测量方法及其研究现状

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Lassie01
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开尔文探针力显微镜(KPFM)不仅能够表征多种平整材料的表面形貌,还能对材料表面电势进行纳米级的成像.简单介绍了KPFM的基本工作原理与接触电势差(CPD)的概念,并介绍了幅度调制模式KPFM (AM-KPFM)、频率调制模式KPFM (FM-KPFM)与外差幅度调制模式(HAM-KPFM)这三种重要测量方法及其应用.系统综述了KPFM的国内外应用研究现状,详细介绍了其在金属纳米结构、半导体纳米结构表征方面的超高灵敏度与分辨率,总结了其在多种领域电特性表征中的广泛应用.最后对不同工作模式的KPFM进行了对比总结,展望了KPFM的未来发展.
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