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电压衬度像（PVC）技术是用于定位集成电路不可见缺陷的一种有效的失效分析方法，结合聚焦离子束（FIB）精准的微切割技术，可将PVC技术应用于长金属互连线的缺陷定位。主要介绍了PVC技术及其原理，概述了如何在SEM和FIB中应用其工作原理有效地定位IC缺陷位置，并就接触孔／通孔缺陷以及规则长金属导线的失效实例展开讨论和分析。