【摘 要】
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消费性电子、工业控制、能源计量及医疗仪器,所有电子产品都在提高智能化程度,这归功于电子系统大规模引入嵌入式智能传感、数字管理和联网功能。因此,今后几年,传感器特别是微机电系统(MEMS)产品将是半导体市场上最有前景的技术。智能传感平台由五大模块组成图1所示的智能传感平台是一个先进智能传感应用的完整解决方案。智能传感平台由MEMS动作传感器、环境传感器、系统数据管理、数
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消费性电子、工业控制、能源计量及医疗仪器,所有电子产品都在提高智能化程度,这归功于电子系统大规模引入嵌入式智能传感、数字管理和联网功能。因此,今后几年,传感器特别是微机电系统(MEMS)产品将是半导体市场上最有前景的技术。智能传感平台由五大模块组成图1所示的智能传感平台是一个先进智能传感应用的完整解决方案。智能传感平台由MEMS动作传感器、环境传感器、系统数据管理、数
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