【摘 要】
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为研究多元Ti(CN) 膜层,用空心阴极离子镀方法,通入不同比例C2H2和N2反应气体,以研究反应气体流量变化对膜层性能的影响,筛选出C2H2与N2的最佳比例,确定镀膜的最佳工艺参数,
【机 构】
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南京航空航天大学材料科学与技术学院
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为研究多元Ti(CN) 膜层,用空心阴极离子镀方法,通入不同比例C2H2和N2反应气体,以研究反应气体流量变化对膜层性能的影响,筛选出C2H2与N2的最佳比例,确定镀膜的最佳工艺参数,并对最佳工艺条件下的膜层进行了硬度和膜基结合力等的测试,用X衍射仪、电镜、金相显微镜等对膜层的微观组织结构进行了分析.结果表明:镀膜工艺可行,膜层性能优异,膜基结合好,为以后多元膜层的推广使用提供了实验和理论依据.
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