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介绍了研制中的测辐射热计的工作原理，器件结构的几何形状和研制状况，叙述了测辐射热计材料的特征及制备技术。
测辐射热计的氧化钒薄膜成技术研究和微桥结构研制
【摘 要】
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介绍了研制中的测辐射热计的工作原理，器件结构的几何形状和研制状况，叙述了测辐射热计材料的特征及制备技术。
【机 构】
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中国兵器工业第214研究所
【出 处】
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集成电路通讯
【发表日期】
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2001年3期
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