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对于TFT-LCD工艺过程中产生的DGS(Data线与Gate线短接),若流入后端工厂或客户端,将极大影响综合良率和客户端的排名.本文从DGS的P图管控、DGS发生率的相关分析、DGS-Particle和DGS-AOI的回归分析这3个方面阐述了基于相关分析和回归分析的DGS过程管控,以实现利用各检测站点的缺陷数和Particle的发生率对DGS发生率的预测,实现过程预防和控制.