基于相关分析和回归分析的DGS预警管控

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【摘要】

：

对于TFT-LCD工艺过程中产生的DGS(Data线与Gate线短接),若流入后端工厂或客户端,将极大影响综合良率和客户端的排名.本文从DGS的P图管控、DGS发生率的相关分析、DGS-Particle

【作者】

：

金瑞陈力刘林胡梦婷陈杰徐蕾郭雅丽刘世杰杨建锋朱伟宋尚阳

【机构】

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合肥京东方显示技术有限公司

【出处】

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电子世界

【发表日期】

：

2018年22期

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对于TFT-LCD工艺过程中产生的DGS(Data线与Gate线短接),若流入后端工厂或客户端,将极大影响综合良率和客户端的排名.本文从DGS的P图管控、DGS发生率的相关分析、DGS-Particle和DGS-AOI的回归分析这3个方面阐述了基于相关分析和回归分析的DGS过程管控,以实现利用各检测站点的缺陷数和Particle的发生率对DGS发生率的预测,实现过程预防和控制.

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