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微／纳米技术是当前科研领域的一大热点，作为微／纳米技术的一个重要分支－微／纳米级测量技术自然也受到了广泛的重视。本论文的研究目的在于探索运用ＣＣＤ器件进行微／纳米量级测量的一种新方法。ＣＣＤ的测量分辨率受到其像元间距的限制，为欲突破这种限制，我们在运用数字图像处理技术的基础上，探讨了一种新的图像处理方法，为进一步提高ＣＣＤ检测的分辨率和精度作了一些理论及实践性的尝试。