Al含量对磁控溅射AlCrN涂层的影响研究进展

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CrN涂层具有良好的力学性能被广泛研究和使用,但热硬性、抗氧化性差成为限制其进一步应用的主要缺点。为了解决这些问题,人们研究了多种三元涂层。其中,AlCrN涂层具有高硬度、良好的摩擦磨损性能和优异的抗氧化性,是一种很有前途的氮化物保护涂层。揭示Al含量对AlCrN的影响规律对进一步改善AlCrN涂层性能具有重要意义。本文总结了Al含量对磁控溅射AlCrN涂层力学性能、摩擦磨损性能和高温稳定性的影响规律,并探讨了其机理。发现在AlCrN达到最佳综合性能时对应的Al含量有所差异,这可能是由于不同制备方法的离化
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