机构,驱动,检测一体化的压电陶瓷直线驱动模块的研究

来源 :哈尔滨工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nyy1001
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介绍了一种结构紧凑,具有纳米级位移分辨率,动态性能好的压电陶瓷直线驱动模块。
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