【摘 要】
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光栅测量技术作为高分辨率测量的一种手段,随着超精密加工技术的发展受到人们越来越多的关注。本文提出了一种新的处理方法用于检测和补偿相位,提高光栅传感器的分辨率,减少
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光栅测量技术作为高分辨率测量的一种手段,随着超精密加工技术的发展受到人们越来越多的关注。本文提出了一种新的处理方法用于检测和补偿相位,提高光栅传感器的分辨率,减少了细分误差。该方法主要使用向量模式下的CORDIC算法对两路信号的相位进行检测,并获得其它们之间的相位偏差。再用它的旋转模式,补偿相位偏差信号。整个过程只用到基本的加法和移位操作,易于硬件实现。
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