【摘 要】
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从提高压电振子的工作效率出发，结合多腔体压电微泵和有阀无阀压电微泵的优点，采用薄膜被动阀片与“V”形流道相结合的阀片布置方式，设计了一种结构新颖的双振子三腔体压电微泵
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从提高压电振子的工作效率出发，结合多腔体压电微泵和有阀无阀压电微泵的优点，采用薄膜被动阀片与“V”形流道相结合的阀片布置方式，设计了一种结构新颖的双振子三腔体压电微泵。保证了微泵结构的紧凑性，同时提高了压电振子的工作效率。分析了该压电微泵的结构特点和工作机理，从理论上计算了该压电微泵的理论输出特性。
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