【摘 要】
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单管式扫描器的结构误差是影响扫描探针显微镜测量精度的主要误差因素之一。本文对单管式扫描器的结构误差，主要包括交叉耦合误差、非正交误差以及扫描器形状误差，进行了实验和
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单管式扫描器的结构误差是影响扫描探针显微镜测量精度的主要误差因素之一。本文对单管式扫描器的结构误差，主要包括交叉耦合误差、非正交误差以及扫描器形状误差，进行了实验和理论研究，并提出了一些相应的补偿措施。
The structural error of the single-tube scanner is one of the main error factors that affect the measurement accuracy of the scanning probe microscope. In this paper, the structural errors of single-tube scanner, including cross coupling error, non-orthogonal error and scanner shape error, have been studied experimentally and theoretically, and some corresponding compensation measures are put forward.
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