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为研究不同晶粒尺寸纳米钛膜的储氦行为，在He-Ar混合气体下，用磁控溅射方法沉积纳米晶钛膜，利用PBS（proton backscattering）、XRD（X-ray diffraction）对膜的氦含量和微观结构及晶粒大小进行了研究。结果表明：在其它实验参数不变的情况下，当沉积温度从60℃升至350℃时得到均匀分布的含氦量（指原子百分比）从38．6％逐渐降至9．2％的钛膜，其平均晶粒由13．1nm增加到44．2nm；当He／Ar分压比分别为6、10、15、19时得到均匀分布的含氦量分别为17．6％、4