【摘 要】
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最近日本东芝公司开发了一种新的高融点金属栅电极自对准技术,并采用该技术试制了SHF卫星广播接收用的GaAsFETMMIC。这种栅电极金属是三层结构,即能与GaAs衬底形成肖特基结
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最近日本东芝公司开发了一种新的高融点金属栅电极自对准技术,并采用该技术试制了SHF卫星广播接收用的GaAsFETMMIC。这种栅电极金属是三层结构,即能与GaAs衬底形成肖特基结的高融点金属层(第一层,TaN),在其上面依次制作能防止反应和缓和热膨胀的高融点金属层(第二层,
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