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过渡金属硅化物β-FeSi2因其原料价格低廉且利于环保而成为理想的硅基发光材料之一。探讨了β-FeSi2的发光机理，介绍了几种β-FeSi2薄膜制备方法并比较了不同制备方法的特点，总结了最近几年来β-FeSi2的研究进展和主要研究结果。结合作者已经取得的结果和积累的经验，提出了提高材料发光性能方法，认为良好的结晶质量和尽可能减少缺陷是β-FeSi2高效发光的基础，因此有必要探索新的制备方法并改善已有的制备工艺。另外，尝试在β-FeSi2薄膜中应用其它元素，也有可能增大发光效率；而有效激发β-FeSi2的p