透射式GaAs光电阴极激活技术研究

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通过对成像器件GaAs负电子亲合势(NEA)光电阴极激活技术的研究,运用分析仪器进行工艺质量在线监测,在大、薄、匀的GaAs外延层激活出的台内阴极灵敏度大于1300μA/lm。
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