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通过研究大面积CdTe多晶薄膜沉积的升温过程，并调节石墨群边改进加热灯管的分布获得了较均匀的温场，在混合氩氧气氛下，用自行设计制造的近空间升华系统制备出了面积为300mm×400mm的大面积CdTe多晶薄膜，利用XRD、SEM研究其结构、成分和形貌，结果表明：CdTe薄膜呈（111）择优取向，且薄膜总体致密均匀，晶粒大小约为1μm左右。用此大面积CdTe薄膜的不同部分制备的Cds／CdTe/ZnTe：Cu小面积太阳电池效率相差不大，说明薄膜的均匀性较好。