论文部分内容阅读
为了解决高均匀扫描电机转动轴位置未知时与反射镜面不平行度的测量问题,提出了一种动态的光电测量方法;在激光测量光路中,利用扫描电机在位置敏感传感器(PSD)上的扫描曲线,并根据光学成像原理和扫描曲线的外形特征,设计了一个光学实验系统;利用实验方法建立了轴面俯仰角度与扫描曲线形状的关系式,最后对扫描电机轴面不平行度的特性进行了测试分析。实验表明,此种测量方法能够很好地解决动态测量扫描电机轴面不平行度的问题。