论文部分内容阅读
本文提出一种新型的降低固化速率，增大多晶硅晶粒尺寸，适于以玻璃为衬底的“三脉冲激光晶化法”，用激光晶化的热动力学数值计算模型模拟了三脉冲激光晶化条件下样品的温度场，Ｓｉ膜的熔化深度，固化速率等特性，比较了它们与单脉冲，双脉冲的不同之处，并对脉冲间延迟时间，能量密度进行了优化模拟分析，在晶化工艺参数匹配的条件下，该方法可将激光晶化的固化速率降低到０．２７ｍ／ｓ，约为常规单脉冲激光晶化法的１／４，衬底