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同步辐射加速器反射镜的加工与检测
同步辐射加速器反射镜的加工与检测
来源 :光机电信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:popopan22
【摘 要】
:
<正> 用于同步辐射聚焦的金属反射镜,在形状和表面粗糙度方面必须满足很高的要求,为加工这种反射镜,采用单晶金刚石刀具高精密车铣加工.有的反射镜的几何尺寸超出车床的工作
【作 者】
:
大舟
【出 处】
:
光机电信息
【发表日期】
:
1996年7期
【关键词】
:
同步辐射加速器
反射镜
检测
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<正> 用于同步辐射聚焦的金属反射镜,在形状和表面粗糙度方面必须满足很高的要求,为加工这种反射镜,采用单晶金刚石刀具高精密车铣加工.有的反射镜的几何尺寸超出车床的工作范围.这时,可用铣削加工使其轮廓近似理想的精度.反射镜几何形状的检测,用的是高精密坐标测量仪.
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