【摘 要】
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日本冲电气工业公司已制成照射电子线和远紫外线，安全、无机化新感光涂敷玻璃材料（简称：S（）G）。清晰度达到甩于IGbDRAM的0．lpm。各级以上的DRAM主要担心制造工艺复杂化，如采用新的SOG
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日本冲电气工业公司已制成照射电子线和远紫外线，安全、无机化新感光涂敷玻璃材料（简称：S（）G）。清晰度达到甩于IGbDRAM的0．lpm。各级以上的DRAM主要担心制造工艺复杂化，如采用新的SOG可大幅度减少工艺流程。新S（）G材料，除可照射电子线和远紫外线外，也可在350～4O0
Japan’s OKI Industries has made a new light-sensitive coated glass material (referred to as S () G) for irradiating electronic wires and being far-ultraviolet, safe and inorganic. Sharpness achieved 0 in IGbDRAM. lpm. DRAM above all levels are mainly concerned about the complexity of the manufacturing process, such as the new SOG can greatly reduce the process. The new S () G material, in addition to irradiation of electronic lines and far ultraviolet, but also in 350 ~ 4O0
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