论文部分内容阅读
该文介绍了F基气体电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀系统对金属Mo薄膜侧壁角度的影响。通过调节ICP干法刻蚀设备的射频功率、ICP离子源功率、腔体气压、SF6及Ar的气体流量等工艺参数,实现了30.3°~51.6°的侧壁倾角,为薄膜体声波谐振器(FBAR)研制工艺提供了有益指导。
干法刻蚀条件对Mo侧壁角度的影响
【摘 要】
：
该文介绍了F基气体电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀系统对金属Mo薄膜侧壁角度的影响。通过调节ICP干法刻蚀设备的射频功率、ICP离子源功率、腔体气压、SF6及Ar的气体流量等工
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第二十六研究所
【出 处】
：
压电与声光
【发表日期】
：
2016年02期
其他文献
科技伦理教育是德育的重要内容。科技伦理教育主要包括马克思主义自然观、科技观教育、科技与伦理关系教育、科技道德规范教育、科学与人文精神融合教育、网络和生态及生命伦
<正>2012年9月18日,最高人民法院发布了指导性案例《上海存亮贸易有限公司诉蒋志东、王卫明等买卖合同纠纷案》(指导案例9号)。为了正确理解和准确参照适用该指导性案例,现对
<正> 铜是现代冶金工业生产中,重要性和产量仅决于钢铁的有色金属。铜也是各种生物维持正常生长、发育和新陈代谢等生命活动所必须的元素之一。人体对铜的需求虽必不可少,但
宏观调控是社会化大生产的客观要求,也是弥补市场缺陷的必然选择。矿产资源宏观调控的总目标是实现矿产品总供给和总需求的平衡,具体分为结构平衡、经济可持续发展、矿产品进
千年而下,含蓄蕴藉的中国结依然为你我钟情,明丽吉祥的中式服装让我们遐想万般。于是,喜欢了在熙来攘往的人群中,体会尘世的真实和
Thousands of years ago, the implied me
老舍在小说中以犀利的笔触揭示了民族的恶习,严肃批判了传统文化中存在的弊端。只有从愚昧麻木的状态变成积极主动的现代人,改变落后的社会心理状态,中华民族的优秀传统文化
在繁殖季节对锯缘摄龟和金头团壳龟输卵管进行组织学研究,发现运两种龟输卵管全长粗细不匀,前端细,中端略粗,近“子宫”处最粗。将输卵管分成上、中、下三段,分别进行固定,作
Internet的出现以及它在电子商务中的广泛应用,使企业有机会尝试许多创新性的定价模式,较有名的例子是在线报价(name-your-own-price,简称NYOP)模式,NYOP是一种网上逆向拍卖
<正> 中共中央关于召开全国科学大会的通知中指出:“我们伟大的各族人民,非常聪明,非常勤劳,非常勇敢,出现过许多杰出的科学家和无数能工巧匠,创造了灿烂的古代文化。”的确