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羰基钼化学气相沉积对模具表面改性的研究
羰基钼化学气相沉积对模具表面改性的研究
来源 :西南师范大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangxyz
【摘 要】
:
以Mo(CO)6为物源在刀具钢回火温度以下实施了气相沉积超硬膜涂覆,经实验测试、分析,结果表明薄膜中含碳量是影响薄膜表观硬度的重要因素,并且该薄膜能改善刀具(钻头)的表面力学性能,增加其
【作 者】
:
吕弋
郑瑞伦
【机 构】
:
西南师范大学化学化工学院,西南师范大学物理系
【出 处】
:
西南师范大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
2000年3期
【关键词】
:
化学气相沉积
使用寿命
模具
表面改性
羰基钼
Mo(CO)-6 MOCVD carbon content service life
【基金项目】
:
国家教育部资助项目
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以Mo(CO)6为物源在刀具钢回火温度以下实施了气相沉积超硬膜涂覆,经实验测试、分析,结果表明薄膜中含碳量是影响薄膜表观硬度的重要因素,并且该薄膜能改善刀具(钻头)的表面力学性能,增加其使用寿命。
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