用于光学位移传感器的新型数字编码光栅尺的制作

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chenjzh68

【摘要】

：

介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在(100)硅片上制作母光栅尺, 并以具有紫外固化特性的聚氨酯丙烯酸酯为材料, 将母光栅尺复制到硬基底上.实验表明, 该工艺可重复性高, 复制光栅尺的衍射效率高于母光栅尺的90%, 并能承受航空环境－55℃~70℃的高低温冲击.光栅尺的制作准确度满足传感器的要求, 信号响应准确率100%.该方法可对具有准确度高、图形复杂、工作环境恶劣等特点的微纳米结构的制作提供借鉴.

【作者】

：

王宇陈火耀刘正坤郑衍畅洪义麟付绍军

【机构】

：

中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥230029

【出处】

：

光子学报

【发表日期】

：

2015年44期

【关键词】

：

光学位移传感器编码光栅复制技术紫外光刻全息光刻光传操纵系统 Opticaldisplacement sensor Encoding grating R

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