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分析了微型机电系统中产生的一系列特殊效应,介绍了微机电系统中新的设计理论和设计方法,以期建立微机械学理论体系.
微机电系统与微机械学
【摘 要】
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分析了微型机电系统中产生的一系列特殊效应,介绍了微机电系统中新的设计理论和设计方法,以期建立微机械学理论体系.
【机 构】
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天津机电职业技术学院
【出 处】
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高等职业教育(天津职业大学学报)
【发表日期】
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2003年4期
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