【摘 要】
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针对TiAlN薄膜耐磨性不够优异的问题,研究了Al质量分数对Ti1-xAlxN薄膜结构和摩擦学性能的影响。采用磁控溅射沉积技术制备了4种不同Al质量分数的Ti1-xAlxN薄膜。利用扫描电
【机 构】
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河南科技大学机电工程学院,河南科技大学河南省机械设计及传动系统重点实验室
【基金项目】
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国家国防基础科研计划基金项目(JCKY2018419C101),河南省科技攻关项目(202102210073)。
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针对TiAlN薄膜耐磨性不够优异的问题,研究了Al质量分数对Ti1-xAlxN薄膜结构和摩擦学性能的影响。采用磁控溅射沉积技术制备了4种不同Al质量分数的Ti1-xAlxN薄膜。利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)及X射线衍射仪(XRD),对薄膜的微观形貌、元素成分与晶体结构进行了表征。采用纳米压痕仪测试薄膜的硬度和弹性模量,用摩擦磨损试验机和白光干涉三维形貌仪测试薄膜的摩擦磨损性能。研究结果表明:随着Al质量分数
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