硅基PZT压电驱动MEMS光开关的设计与优化

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lostwing56

【摘要】

：

采用压电多层悬臂梁理论分析模型,研究了一种新型PZT压电复合多层膜悬臂梁驱动光开关的机械性能,探讨了结构参数与悬臂梁机械性能的关系及影响光开关机电性能的因素.提出了一

【作者】

：

方华军刘建设任天令刘理天

【机构】

：

清华大学微电子学研究所

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2003年7期

【关键词】

：

光开关 MEMS技术 PZT 设计优化锆钛酸铅压电复合膜悬臂梁

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用压电多层悬臂梁理论分析模型,研究了一种新型PZT压电复合多层膜悬臂梁驱动光开关的机械性能,探讨了结构参数与悬臂梁机械性能的关系及影响光开关机电性能的因素.提出了一种新的硅基PZT压电复合膜悬臂梁驱动光开关的制作方法.给出了25V工作电压下优化的器件结构,并对理论分析结果与压电复合多层膜悬臂梁的有限元耦合场分析结果进行了比较.

其他文献

一种4 Gsample/s12bADC接口电路中的发送器设计

针对一种4 Gsample/s12b模数转换器(Analog-to-Digital Converter,ADC)中的接口电路发送器的设计难度大的问题,基于吉比特收发器(Gigabit Transceiver,GTX),遵循JESD204B子类

期刊

模数转换器接口电路吉比特收发器发射器设计四字节并行analog-to-digital converterinterface circuitGigabi

时间、生命、崇高——录像艺术家比尔·维奥拉的视觉探索

新媒介的兴起,影响着社会文化以及艺术的诸多方面。录像艺术作为新媒体艺术中的一个艺术门类,有着独特的艺术语言,区别于电影艺术。作为录像艺术它所关注的艺术话题属于当代

期刊

录像艺术生命时间崇高

ARINC653多核多分区操作系统的任务调度

随着航空电子系统综合化、模块化的发展,单核处理器已难以满足综合模块化航空电子(Integrated Modular Avionics,IMA)高性能的计算要求,多核处理器逐步在航空电子系统中得到

期刊

综合模块化航空电子任务调度ARINC653规范分区调度多核分配integrated modular avionicstask schedulingAR

射流雾化理论在抓斗卸船机上的应用

射流雾化技术能够有效地抑制粉尘的扩散，可以通过水雾捕捉在空气当中悬浮的一些尘粒，并且将空气当中悬浮的尘粒沉降到地面。这样可以有效地抗击环境的风速以及气流对于粉尘的影

期刊

射流雾化理论抓斗卸船机

简析电力物联网通信需求及技术适用性

随着经济水平的不断提高以及人们对于电力这一基本能源的不断开发，国家电网有限公司紧跟形势提出了发展泛在物联网的战略。从宏观层面来看。发展泛在互联网不仅是大势所趋，也事

期刊

电力物联网通信技术

一体化联合作战背景下的信号群研究

一体化联合作战背景下,作战体系应用的通信、指挥、控制、导航、识别、侦察、制导等无线电信号形成多源立体交错的信号集合。通过多学科类比分析,根据信号集合具备的“群”共

期刊

一体化联合作战信号群分析认知域integrated joint operationsignal group analysiscognitive domai

一种并行化的改进型灰狼分簇算法

针对传统的分簇算法在解决超大规模数据集的分簇问题上不具有高效的时间和空间复杂度且易于陷入局部最优的问题,提出了改进型灰狼分簇算法(Improved Gray Wolf Clustering Al

期刊

大数据分析数据挖掘分簇算法灰狼算法狄利克雷分布big data analysisdata miningclustering algorithmgray

经尿道等离子双极汽化电切术治疗高危BPH

目的评价经尿道等离子体双极汽化电切术治疗高危BPH的安全性和疗效。方法回顾性分析62例高危BPH患者采用经尿道等离子双极汽化电切术，并对疗效进行分析。结果手术时间40-200mi

期刊

良性前列腺增生高危等离子体双极汽化电切Benign prostatic hyperplasia High risk Transurethral plasm

联合航空：中国客户价值发现之旅

格莱汉姆·艾金森是天底下对飞机客舱服务最挑肥拣瘦的人之一。他要求他的座椅下面有可以兼容145个国家的电源插座，有时尚人士才会热衷的苹果IPOD连接器，有50个频道的XM音频内

报纸

张毅：加快推进“四项改革”试点

国资委主任张毅2月初在接受媒体采访时表示，今年要稳妥、规范、有序发展混合所有制经济，规范混合所有制企业员工持股，同时，加快推进“四项改革”试点，以点带面加快推进改革。

期刊

改革试点张毅混合所有制经济混合所有制企业员工持股以点带面国资委

硅基PZT压电驱动MEMS光开关的设计与优化

与本文相关的学术论文