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在用四象限管测量法测量高速倾斜镜频率响应函数的基础上，设计了一种利用位移传感器——电涡流传感器来测量频率响应函数的方法。分别给出了两种方法对同一个四点驱动高速倾斜镜的测量结果，并对两种方法的优缺点进行了分析和讨论
高速倾斜镜的频率响应函数测量
【摘 要】
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在用四象限管测量法测量高速倾斜镜频率响应函数的基础上，设计了一种利用位移传感器——电涡流传感器来测量频率响应函数的方法。分别给出了两种方法对同一个四点驱动高速倾斜
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1999年05期
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