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本文介绍了激光调阻的基本原理和激光调阻系统,激光调阻工艺流程及工艺参数,调阻程序,切刻类型,分析了切槽缺陷和影响激光调阻精度的若干因素。
影响激光调阻精度的若干因素浅析
【摘 要】
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本文介绍了激光调阻的基本原理和激光调阻系统,激光调阻工艺流程及工艺参数,调阻程序,切刻类型,分析了切槽缺陷和影响激光调阻精度的若干因素。
【机 构】
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陕西华经微电子股份有限公司,西京电气总公司
【出 处】
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电子科学技术
【发表日期】
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2015年05期
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