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为了实现细轴上微小平面的精密加工，研制了一套飞刀铣削装置，该装置的主轴采用空气静压轴承。回转精度为0．1μm。将其加装在精密数控车床的工作台上，配合成组车削刀具，使工件能在一次装夹过程中，按照数控指令实现车削轮廓及飞刀铣削出微小平面，从而提高微小平面的加工精度。研究了气浮飞刀切削速度、背吃刀量和进给量等主要切削参数对微小平面表面粗糙度的影响规律。在0．4mm×0．4mm范围内的平面，其尺寸和位置精度±2μm，平面度小于1μm，表面粗糙度值达Ra0．03μm。