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高纯Er2O3靶材的低温无压烧结及性能研究
高纯Er2O3靶材的低温无压烧结及性能研究
来源 :稀有金属与硬质合金 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zxz6381
【摘 要】
:
以纳米Er2O3粉为原料,通过1450℃低温无压烧结,成功制取了相对密度为近90%的高纯Er2O3陶瓷靶材。对采用不同形状纳米Er2O3粉所制靶材进行了断口形貌分析及密度测试,相关结果表明,
【作 者】
:
邓燕来
邓志军
【机 构】
:
湖南稀土金属材料研究院
【出 处】
:
稀有金属与硬质合金
【发表日期】
:
2009年4期
【关键词】
:
纳米Er2O3粉
高纯Er2O3靶材
低温无压烧结
密度
断口形貌
Er2O3 nanopowder high-purity Er2O3 ceramic ta
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以纳米Er2O3粉为原料,通过1450℃低温无压烧结,成功制取了相对密度为近90%的高纯Er2O3陶瓷靶材。对采用不同形状纳米Er2O3粉所制靶材进行了断口形貌分析及密度测试,相关结果表明,以三维近球形纳米Er2O3粉为原料,在低温无压下烧结所制得靶材的性能较优。
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