【摘 要】
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在集成电路制造中，四氟化碳（CF4）气体常用作硅片干法蚀刻和清洗剂，而被广泛用于微电子、太阳能、电池、火箭等领域。采用氟碳直接合成法制备四氟化碳时，三氟化氮等杂质的产生不可避免，并且这些强氧化剂又会影响四氟化碳的使用，所以去除氧化性杂质一直都是工业上不可避免的问题，因此，研究四氟化碳的提纯对工业应用有着重要的意义。为了将四氟化碳提纯到99.9995%以上的电子级水平，必须将四氟化碳中的三氟化氮杂质
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在集成电路制造中，四氟化碳（CF4）气体常用作硅片干法蚀刻和清洗剂，而被广泛用于微电子、太阳能、电池、火箭等领域。采用氟碳直接合成法制备四氟化碳时，三氟化氮等杂质的产生不可避免，并且这些强氧化剂又会影响四氟化碳的使用，所以去除氧化性杂质一直都是工业上不可避免的问题，因此，研究四氟化碳的提纯对工业应用有着重要的意义。为了将四氟化碳提纯到99.9995%以上的电子级水平，必须将四氟化碳中的三氟化氮杂质控制在1ppmv以下。本文利用四氟化碳与三氟化的分解温度相差较大的特点，设计开发了五塔串联中频热解装置以去除三氟化氮，并通过试验对热解工艺条件进行优化，取得了良好的效果。
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