钛酸锶钡（BST）薄膜的制备与应用研究进展

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yuanli1988

【摘要】

：

介绍了钛酸锶钡(BST)薄膜的四种制备方法(脉冲激光沉积、磁控溅射、溶胶–凝胶、金属有机化学气相沉积)及BST薄膜在介质移相器、动态随机存储器、热释电红外探测器、H2探测器

【作者】

：

符春林杨传仁陈宏伟胡文成李文远

【机构】

：

电子科技大学微电子与固体电子学院

【出处】

：

电子元件与材料

【发表日期】

：

2003年5期

【关键词】

：

钛酸锶钡铁电薄膜制备技术 BST 应用 barium strontium titanate ferroelectric thin film preparat

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展计划(973计划)

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介绍了钛酸锶钡(BST)薄膜的四种制备方法(脉冲激光沉积、磁控溅射、溶胶–凝胶、金属有机化学气相沉积)及BST薄膜在介质移相器、动态随机存储器、热释电红外探测器、H2探测器中的应用等方面的研究进展.提出了需进一步开展的研究课题如:晶粒晶界控制、界面控制、漏电导机制、疲劳机制、非线性效应及大面积高质量薄膜的制备技术等.

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