高精度模糊自整定温度控制系统研究

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针对半导体专用设备对温度的特殊要求,采用了一种基于模糊算法、对加热对象适应能力较强的变参数温度控制系统,通过在某半导体专用设备中使用考核,该控制系统控制精度、对控制对象的适应能力、抗冲击能力以及稳定性得到了很好地验证。
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