定容式气体微流量计的测量误差分析

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从原理下定容式气体微流量计(CVFM)和带参考室的CVFM的流量测量误差进行了理论分析,测量过程中温度变化对CVFM的流量测量误差作用较大,是影响CVFM测量下限的一个主要因素,为CVFM增加一个参考室,可以减少测量过程中温度变化对CVFM的流量测量误差的贡献。
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