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介绍了纳米半导体材料的定义、性质及其在未来信息技术中的地位,讨论了纳米半导体材料的制备方法。
纳米半导体材料的制备技术
【摘 要】
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介绍了纳米半导体材料的定义、性质及其在未来信息技术中的地位,讨论了纳米半导体材料的制备方法。
【机 构】
：
中国科学院半导体研究所
【出 处】
：
微纳电子技术
【发表日期】
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2002年01期
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