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针对传统的扩散炉温度控制系统的精度低、生产工艺控制能力差的现状，设计实现了扩散炉多路高精度温度检测控制系统。系统采用三路热电偶采集扩散炉内温度值并通过基于Smith预估的PID控制，控制三组加热装置的启停，以达到对炉温的控制，控制精度可达1‰，并采用液晶显示模块和按键组成人机交互界面。
多路高精度扩散炉温度控制系统的设计
【摘 要】
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针对传统的扩散炉温度控制系统的精度低、生产工艺控制能力差的现状，设计实现了扩散炉多路高精度温度检测控制系统。系统采用三路热电偶采集扩散炉内温度值并通过基于Smith预
【机 构】
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中国矿业大学北京机电与信息工程学院
【出 处】
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微型机与应用
【发表日期】
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2013年17期
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