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Ti^+(100kV,3×10^17cm^-2)注入H13钢,表面注入层的化学组成和微观结构发生了很大的变化,俄歇分析表明,注入元素Ti在钢表面层的剖面浓度分布呈近似高斯分布,在40nm处Ti的2达到最大值。离子呸真空碳化导致在钢的表面一层约20nm的“富碳层”。透射电镜分析表明,表面层的微观形貌由注入前的板条状马氏体结构转变成注入后的微胞状结构。电子衍射下实,表面注以已出现非晶化,并且有约5nm